Odchylka s od referenční teploty může způsobit velké chyby měření. Záznam teploty umožňuje matematickou kompenzaci tepelných vlivů na souřadnicový měřicí stroj. Výsledkem je mnohem ekonomičtější alternativa k vysoce přesné klimatizované měřicí místnosti.
Odchylky teploty jsou jednou z mnoha různých složek nejistoty měření. Teplota stroje, stupnice a obrobku má přímý vliv na výsledek měření. Odchylky teploty v místnosti od referenční teploty 20 °C mají na tyto teploty nepřímý vliv. Dalšími ovlivňujícími faktory jsou zbytkové teplo obrobku (např. ze zpracování a manipulace) a také zdroje tepla v měřicím zařízení (např. motory, světelné zdroje). Časové teplotní gradienty způsobují drift výsledků měření.