Zlatá medaile MSV Brno 2008
Firma Pfeiffer Vacuum uvedla na trh novou řadu turbomolekulárních vývěv HiPace™ s čerpacími rychlostmi od 10 l/s do 700 l/s. Vývěvy se vyznačují vysokou hospodárností a flexibilitou (možnost instalace v libovolné poloze). Zlepšený design rotoru umožňuje dosahovat nejen vysoké čerpací rychlosti, velkého proudu plynu, ale i vynikajícího kompresního poměru pro lehké plyny. Široké spektrum použití zahrnuje nejen nasazení v analytice nebo v polovodičovém průmyslu, ale i použití v technologii tenkých vrstev a v neposlední řadě také ve výzkumu a vývoji.
Nová elektronika pohonné jednotky umožňuje optimální integraci do výrobního zařízení, redukuje množství kabelových připojení a umožňuje dálkové ovládání včetně diagnostiky přes RS 485, Profibus nebo DeviceNet. Zároveň byly rozšířeny možnosti monitorování provozních parametrů vývěvy např. teploty vybraných celků vývěvy apod.
Díky novým materiálům se zdvojnásobila životnost pohonu vývěvy a rovněž byl znatelně snížen čas rozběhu vývěvy což znamená, že vývěva je v kratším času připravena k plnému provozu. Vývěvy jsou rovněž dodávány ve verzi pro čerpání korozních plynů.
Volitelný proplachovací ventil chrání ložiska vývěvy před prachovými částicemi nebo oxidujícími plyny.
Turbomolekulární vývěvy jsou používány v celé řadě vakuových aplikací. V analytice jsou to především hmotové spektrometry, analyzátory plynů, elektronové mikroskopy, detektory netěsností, analýzy povlaků a spektroskopie. Polovodičový průmysl využívá takové vývěvy při DVC a PVD depozicích, v litografii a při výrobě plochých obrazovek. V poslední době rapidně roste nasazení turbovývěv v oblasti povlakování zejména při výrobě solárních článků, optických vrstev, tvrdých povrchů nebo paměťových médií.
V oblasti základního i aplikovaného výzkumu jsou turmomolekulární vývěvy nasazovány např. v oblasti biotechnologií, genetického inženýrství, fyziky povrchů, urychlovačů částic a nanotechnologií.
První vývěvy řady HiPace™ byly uvedeny na trh v dubnu 2008. Půl století vývoje a výroby turbomolekulárních vývěv firmou Pfeiffer Vacuum je zárukou nejvyšší technologické úrovně, která je dokonale ilustrována špičkovými parametry nejnovější řady turbomolekulárních vývěv HiPace™.
Výrobce: Pfeiffer Vacuum GmbH, Německo
Vystavovatel: Pfeiffer Vacuum Austria, organizační složka Praha
